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國產(chǎn)碳化硅“芯航母”崛起　　在6英寸車規(guī)級碳化硅晶圓制造無塵車間內(nèi)，設(shè)備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設(shè)備處于生產(chǎn)還是閑置狀態(tài)；幾名設(shè)備工程師正在調(diào)試新裝設(shè)備，沖刺擴產(chǎn)；“天車”沿著無塵車間屋頂?shù)能壍缿掖褂诳罩型荡┧螅{(diào)試與機器人“搭檔”搬運芯片，將實現(xiàn)機臺到機臺的全自動無人化搬運；無塵車間外的辦公室內(nèi)，工程師坐在電腦前通過設(shè)備共享屏幕遠程監(jiān)控設(shè)備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點鍵盤即可隨時遠程處理各種狀況……　　新年伊始，位于廣州南沙的國內(nèi)最大專注于車規(guī)級碳化硅芯片制造企業(yè)芯粵能廠內(nèi)一派熱火朝天的生產(chǎn)景象。　　圖為6英寸碳化硅平面MOSFET晶圓；當前，以碳化硅為代表的半導體已成為全球半導體技術(shù)和產(chǎn)業(yè)新的競爭焦點；然而，全球碳化硅功率器件市場長期由海外巨頭壟斷，現(xiàn)階段我國寬禁帶半導體國產(chǎn)化率較低，市場需求量較大。　　作為廣東“強芯工程”重大項目，芯粵能今年正加速一期產(chǎn)能爬坡，年底實現(xiàn)年產(chǎn)24萬片6英寸車規(guī)級碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。芯粵能項目達產(chǎn)后將極大緩解當前國產(chǎn)車規(guī)級碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀，成為全球領(lǐng)先的車規(guī)級碳化硅功率半導體制造企業(yè)之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問題，奠定中國碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。　　探秘無塵車間：高速氣流讓工作人員“一塵不染”　　近日，記者來到芯粵能無塵車間，跟隨芯粵能晶圓廠廠長邵永華“探秘”。芯粵能生產(chǎn)車間。　　車間內(nèi)24小時維持無塵狀態(tài)，恒溫恒濕，四季如春，“寸土寸金”。進入無塵車間的人員“武裝”到牙齒，潔凈服、頭套、手套齊備，全身只有眼睛露在外面，再經(jīng)過長長的通道才能進入車間。邵永華指著通道頂部告訴記者：“通道上空不斷向下吹淋高速氣流，工作人員經(jīng)過時，身上微小的塵埃粒子會被吹走，確保進入無塵車間時符合生產(chǎn)的潔凈度要求。”　　車間內(nèi)，最引人矚目的是矗立在地面的一排排設(shè)備和屋頂穿梭運行的一輛輛“天車”。“‘天車’系統(tǒng)是我們自動搬運系統(tǒng)的一部分。我們是國內(nèi)首家采用該系統(tǒng)的6英寸碳化硅晶圓廠。調(diào)試成功后，‘天車’將與機臺機器人配合，實現(xiàn)車間內(nèi)材料的全自動無人化搬運，既提高效率，又降低差錯。”邵永華說：“高端制造智能化是趨勢，工程師不需要一直待在車間，在辦公室就可以通過設(shè)備共享屏幕實時監(jiān)控設(shè)備狀況，并發(fā)出指令遠程操控設(shè)備。”　　記者看到，設(shè)備上有紅色、黃色、綠色的不同燈光閃爍。“這是自動監(jiān)測系統(tǒng)，綠燈代表正常生產(chǎn)，黃色代表休整閑置，紅色代表異常可能，需要工作人員來看一下。”據(jù)邵永華介紹，在整個車間內(nèi)，全自動檢測系統(tǒng)無處不在，尤其是針對產(chǎn)能性能的檢測，跟隨著產(chǎn)品的每一個環(huán)節(jié)，循環(huán)多次檢測，確保產(chǎn)品性能和良率：“目前我們出廠的芯片性能、良率達到了國際先進水平，國際主流碳化硅公司研發(fā)的產(chǎn)品均可以在我們的平臺量產(chǎn)。”　　記者看到，無塵車間內(nèi)工作人員穿著藍色、白色、灰色等不同顏色的潔凈服，灰色服裝的設(shè)備調(diào)試工程師，正在對多臺新引進的設(shè)備進行調(diào)試。“整個工廠正在擴產(chǎn)爬坡，今年年底實現(xiàn)年產(chǎn)24萬片6英寸車規(guī)級碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。預留的8英寸產(chǎn)線就在6英寸產(chǎn)線隔壁，建成后將具備年產(chǎn)24萬片8英寸車規(guī)級碳化硅芯片的能力。”邵永華介紹。　　打造“芯航母”：助力廣東建成集成電路第三極　　在廣州市、南沙區(qū)大力支持下，芯粵能15個月即建成投產(chǎn)，建設(shè)速度在業(yè)內(nèi)罕見。無塵車間2022年11月正式啟用，目前已經(jīng)實現(xiàn)月產(chǎn)1萬片產(chǎn)能。車規(guī)級和工控級芯片成功流片并送樣，車規(guī)認證完成在即。截至目前，芯粵能已與40多家客戶簽約流片，覆蓋全國絕大部分碳化硅芯片設(shè)計企業(yè)，良率和一致性備受認可。廣東芯粵能半導體有限公司。　　近年來，南沙引進培育了芯粵能、芯聚能、晶科電子、聯(lián)晶智能、南砂晶圓等一批行業(yè)龍頭企業(yè)，初步形成覆蓋半導體和集成電路設(shè)計、制造、封裝測試、設(shè)備材料的產(chǎn)業(yè)鏈。南沙積極建設(shè)寬禁帶半導體設(shè)計、制造和封測基地，打造粵港澳大灣區(qū)寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，為未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強“芯”劑。　　作為扎根南沙的企業(yè)，芯粵能董事長肖國偉認為，南沙地處粵港澳大灣區(qū)地理幾何中心、毗鄰港澳，區(qū)位優(yōu)勢明顯，產(chǎn)業(yè)集聚方面有巨大的應用市場優(yōu)勢。“廣深已有多家芯片設(shè)計公司落地集聚，隨著碳化硅應用市場不斷拓展延伸，未來會有更多碳化硅芯片設(shè)計和應用開發(fā)公司前來落地扎根，產(chǎn)業(yè)集聚效應日益突顯。”尤其是“南沙方案”發(fā)布以來，面向高科技企業(yè)形成可執(zhí)行可落地的政策，南沙區(qū)也出臺了多項科技專項扶持政策，鼓勵以企業(yè)為主體推動關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，推動企業(yè)與科研機構(gòu)聯(lián)合科技創(chuàng)新，更給企業(yè)發(fā)展提供了源源不斷的強大動能，吸引了越來越多企業(yè)聚集南沙。　　展望2024年，芯粵能將啟動一期產(chǎn)能爬坡，年底實現(xiàn)年產(chǎn)24萬片6英寸碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。芯粵能項目達產(chǎn)后將極大緩解當前國產(chǎn)車規(guī)級碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀，成為全球領(lǐng)先的車規(guī)級碳化硅功率半導體制造企業(yè)之一。　　一個碳化硅航母級企業(yè)將崛起在灣區(qū)之心。芯粵能志在賦能全球電力應用，成為碳化硅領(lǐng)域值得信賴的“芯航母”。隨著項目達產(chǎn)，將帶動碳化硅襯底材料、芯片制造、模塊封裝到新能源汽車應用的國產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)，推動建設(shè)大灣區(qū)寬禁帶半導體和新能源汽車的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，助力廣東建成集成電路第三極，奠定中國碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。　　關(guān)鍵詞　　芯粵能　　芯粵能碳化硅芯片制造項目是廣東“強芯工程”重大項目，項目總投資額為75億元，將建成年產(chǎn)24萬片6英寸和24萬片8英寸碳化硅晶圓芯片的生產(chǎn)能力。